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在半導體制造的精密世界里，硅片膜層厚度的微小偏差都可能導致器件性能衰減甚至失效。傳統接觸式測量方法因易劃傷晶圓表面、無法實時監測等問題，逐漸被非接觸式技術取代。近紅外光（NIR）憑借其特殊的物理特性，成為硅片厚度測量儀的核心光源，為芯片制造...
翹曲度，用于表述平面在空間中的彎曲程度，在數值上被定義為翹曲平面在高度方向上距離最遠的兩點間的距離。絕對平面的翹曲度為0。翹曲變形是評定產品質量的重要指標之一。對于相同翹曲影響模式的同一產品時，這些指標可以描述不同設計的翹曲變形的大小程度。但對于不同材料、模具結構等造成翹曲變形的影響模式改變的因素，不同設計下各部分的翹曲變形嚴重程度也隨之改變。美國FSM高溫薄膜應力及翹曲度測量儀具有哪些特殊功能？1、多重導向銷設計，手動裝載樣品，有優異的重復性與再現性研究。2、優異的分辨率—...
輪廓儀，是一種常用的測量工具，用于精確復制和測量不規則物體的輪廓形狀。它廣泛應用于木工、金屬加工、裝修和模具制造等領域。本文將詳細介紹輪廓儀的使用方法和注意事項，以幫助讀者更好地掌握這一實用工具。一、輪廓儀的使用方法1.準備工作：在使用儀器之前，確保物體表面干凈，無塵和雜質，以免影響測量結果。2.調節高度：根據待測物體的高度，通過旋鈕將基座調節到合適的高度，使針頭能夠接觸到物體表面。3.復制輪廓：將儀器平放在待測物體上，確保針頭接觸物體表面，并輕輕滑動儀器，使針頭按照物體曲線...
橢偏儀通過測量光在介質表面反射前后偏振態變化，獲得材料的光學常數和結構信息，具有測量精度高、非接觸、無破壞且不需要真空等優點。橢偏儀的選購指南：1、根據研究或測試的材料特性來確定光譜范圍，進一步選擇適合光源的橢偏儀。對于透明材料，考慮關心的折射率光譜區域;對于短波吸收、長波透明材料，如果關心吸收區域折射率及膜厚可擴展到紅外透明區域來先確定薄膜厚度，然后求解折射率。2、入射角方式選擇。橢偏儀多角度測量可以增加可靠性，但不是總有必要。多角度Z適用于以下幾種場合：多層膜結構、吸收膜...
橢偏儀/橢圓偏振儀是一種用于探測薄膜厚度、光學常數以及材料微結構的光學測量儀器?，F在已被廣泛應用于材料、物理、化學、生物、醫藥等領域的研究、開發和制造過程中?；驹恚簷E偏儀的原理主要依賴于光的偏振現象。當光線通過某些物質時，其偏振狀態會發生變化。橢偏儀利用這一特性，通過精確控制入射光的偏振態，并測量經過樣品后光的偏振態變化，進而分析樣品的性質。橢偏法測量具有如下特點：1.能測量很薄的膜（1nm），且精度很高，比干涉法高1-2個數量級。2.是一種無損測量，不必特別制備樣品，也...
Filmetrics3D光學輪廓儀是用于對各種精密器件表面進行納米級測量的儀器，它是以白光干涉技術為原理，光源發出的光經過擴束準直后經分光棱鏡后分成兩束，一束經被測表面反射回來，另外一束光經參考鏡反射，兩束反射光最終匯聚并發生干涉，顯微鏡將被測表面的形貌特征轉化為干涉條紋信號，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌。Filmetrics3D光學輪廓儀具有3倍於于其成本儀器的次納米級垂直分辨率，Profilm3D同樣使用了現今高分辨率之光學輪廓儀的測量技術包含垂直掃描干涉（V...